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CVD氣相沉積系統

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CVD高真空快速退火爐

產品型號:H-CVD-1200R

產品品牌:翰軍

接受定制:是

交貨周期:30工作日

上架時間: 2021-02-22 09:56:54

瀏覽次數: 1542次

一、概述:

     這款配置的真空CVD系統集快速紅外加熱爐,2通道氣路系統和真空系統組成。真空系統采用中科科儀FJ-110機組。控制電路選用模糊PID程控技術,具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點。本套系統用于CVD退火,也可以應用于于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。

 

二、主要技術參數

快速紅外加熱爐

電壓

AC3800V    50/60Hz

功率

24KW

加熱區長

400mm

最高使用溫度

1100

工作溫度

1000

升溫速率:

300/min

溫控系統

PID自動控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器,

恒溫精度

±5

石英管

Φ50/60/80100*1400mm

兩路質量流量控制系統

 

最大電壓

185~245V/50Hz

最大輸出功率:

18W

流量計標準量程

300SCCM

工作溫度:

5~45 oC

工作壓差:

0.10.5 MPa

最大壓力:

3Mpa

準確度:

±1.5% FS

真空系統

 

產品型號:F-100/150型渦輪分子泵

廠家: 中科科儀

技術參數:

抽速速率(l/s)150

進氣口法蘭:LF100(ISO-K)

排氣口法蘭:KF25

壓縮比:N2: 108  H25X10102

建議啟動壓強:<100pa

額定轉速(rpm):42300

啟動時間(min):≤2

冷卻方式:風冷

冷卻溫度(℃):≤25

安裝方式:水平或者垂直

重量:8kg

2.2干泵:

產品型號:GWSP300

廠家:沈陽紀維,

技術參數:

極限真空度 Pa 2.60

排氣速度 l/s 4.30

      m3/h 15.5

噪音值 dB(A) 60

漏率(排氣口和氣鎮閥關) Pa·m3/s 1×10-8

最大進/排氣壓力 MPa 0.1 /0.13

/排氣口尺寸 KF25/KF16

工作環境溫度  540

冷卻方式 風冷

單相電機 功率 0.55

電壓 V      200230V, 50Hz

轉速 rpm 1425(50Hz)

接頭形式 國標、

轉速 rpm 1425(50Hz)

外形尺寸  495×305×355

凈重 單相 kg 27

其他 帶氣鎮閥

電阻真空計:

測量范圍:(1.0x105~1.0x10-1)pa

配備規管:ZJ-52T(可選擇接口)

測量路數:1

顯示方式:LED數碼顯示或雙顯(可選)

電源:AC220V±10%50HZ

攻耗:20W

重量:≤1KG

機箱尺寸:96*96

控制路數:2路(可擴展)

控制范圍:(1.0x105~1.0x10-1)pa

控制方式:點控或區域控制

控制點負載能力:AC220V/3A無感負載

測量精度:±30%

響應時間:〈1S

模擬輸出:(0~5V;(4~20mA(選配)

通訊接口:RS-232RS-485(選配)

法蘭及支撐

 

304不銹鋼快速水冷法蘭,長期水冷無腐蝕一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷可調節的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個密封硅膠圈等

可選配件

混氣系統,中、高真空系統,各種剛玉坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環機等。