腾讯三分彩

歡迎光臨上海翰軍實驗設備有限公司官網!

English

熱門關鍵詞:管式爐 勻膠機

產品展示
友情鏈接

帶蒸發CVD系統

您現在的位置:主頁 > 產品展示 > 二硫化鉬CVD氣相沉積系統

二硫化鉬CVD氣相沉積系統

產品型號:H-CVD-1200S

產品品牌:翰軍

接受定制:是

交貨周期:30-45個工作日

上架時間: 2017-08-09

瀏覽次數: 16812次

一、概述

硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下,穩定控制硫腾讯三分彩的蒸發時機和蒸發溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計(在1000Pa以上測量不受氣體種類影響,耐硫蒸氣腐蝕),通過調節真空蝶閥的開啟程度調節爐管內壓力穩定,在1200℃以下的工藝溫度穩定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。

二、設備組成

HCVD-1200S雙溫區管式爐,HTF400C硫粉預熱器(雙溫區管式爐與預熱器可滑動),質量流量計供氣系統,機械式真空泵等組成。

三、主要技術參數

硫粉預熱器

 

型號:HTF-400C

工作溫度:350

最高溫度:400

最快升溫速率:30/min

推薦升溫速率:10/min

控溫方式:智能化30段可編程控制

工作電壓:AC220 V

額定功率:800W

控溫精度:±1

加熱元件:電阻絲

 

雙溫區硫化爐 

型號:HCVD-1200S

技術參數:

額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

最高溫度():12001 hour

持續工作溫度(℃):1100

升溫速率(℃/min):≤50

爐管尺寸(mm):

高純石英管Φ50×1500mm

加熱區長度(mm):440mm

恒溫區長度(mm:200mm  

控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度():±1

加熱元件:電阻絲

供氣系統GMF3Z

 

質量流量計

重量:35Kg

外形尺寸:600x600x650mm

連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

標準量程(N2標定)50sccm200sccm500sccm (可根據用戶要求定制)

準確度:±1.5%

線性:±0.51.5%

重復精度:±0.2%

響應時間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.10.5 MPa

最大壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:4位數字顯示

工作環境溫度:5~45高純氣體             

內外雙拋不銹鋼管:Φ6

壓力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/ 

截止閥:Φ6

低真空機組VAU-02

 

技術參數:

空氣相對濕度≤85%

工作電電壓:220V±10%  50~60HZ 

功率:1千瓦

抽氣速率:4L\s

極限真空:4X10-2Pa

實驗真空度:1.0X10-1Pa

容油量:1.1L

進氣口口徑:KF25

排氣口口徑:KF25

轉速:1450rpm

噪音:50dB

外型尺寸:450×180×240mm

配真空粉塵過濾器,DN25手動蝶閥用于控制爐管內壓力,INFICON PCG554復合真空計