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產品型號:H-CVD-1200S
產品品牌:翰軍
接受定制:是
交貨周期:30-45個工作日
上架時間: 2017-08-09
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一、概述
硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下,穩定控制硫蒸汽的蒸發時機和蒸發溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計(在1000Pa以上測量不受氣體種類影響,耐硫蒸氣腐蝕),通過調節真空蝶閥的開啟程度調節爐管內壓力穩定,在1200℃以下的工藝溫度穩定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、設備組成
HCVD-1200S雙溫區管式爐,HTF400C硫粉預熱器(雙溫區管式爐與預熱器可滑動),質量流量計供氣系統,機械式真空泵等組成。
三、主要技術參數
硫粉預熱器 |
型號:HTF-400C 工作溫度:350℃ 最高溫度:400℃ 最快升溫速率:30℃/min 推薦升溫速率:10℃/min 控溫方式:智能化30段可編程控制 工作電壓:AC220 V 額定功率:800W 控溫精度:±1℃ 加熱元件:電阻絲 |
雙溫區硫化爐 |
型號:HCVD-1200S 技術參數: 額定功率(KW):3 額定電壓(V):AC220v 50/60 Hz 最高溫度(℃):1200(1 hour) 持續工作溫度(℃):1100 升溫速率(℃/min):≤50 爐管尺寸(mm): 高純石英管Φ50×1500mm 加熱區長度(mm):440mm 恒溫區長度(mm):200mm 控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度(℃):±1 加熱元件:電阻絲 |
供氣系統GMF3Z |
質量流量計 重量:35Kg 外形尺寸:600x600x650mm 連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。 標準量程(N2標定):50sccm、200sccm、500sccm; (可根據用戶要求定制) 準確度:±1.5% 線性:±0.5~1.5% 重復精度:±0.2% 響應時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec 工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa 最大壓力:3MPa 接口:Φ6,1/4'' 顯示:4位數字顯示 工作環境溫度:5~45高純氣體 內外雙拋不銹鋼管:Φ6 壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥:Φ6 |
低真空機組VAU-02 |
技術參數: 空氣相對濕度≤85%, 工作電電壓:220V±10% 50~60HZ 功率:1千瓦 抽氣速率:4L\s 極限真空:4X10-2Pa 實驗真空度:1.0X10-1Pa 容油量:1.1L 進氣口口徑:KF25 排氣口口徑:KF25 轉速:1450rpm 噪音:50dB 外型尺寸:450×180×240mm |
配真空粉塵過濾器,DN25手動蝶閥用于控制爐管內壓力,INFICON PCG554復合真空計 |